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CVD工裝

CVD(Chemical Vapor Deposition,化學氣相淀積),是指把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室,在襯底表面發(fā)生化學反應。

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產(chǎn)品簡介 / PRODUCT INTRODUCTION

CVD(Chemical Vapor Deposition,化學氣相淀積),是指把含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入反應室,在襯底表面發(fā)生化學反應。


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